人工合成グラファイト
3000°Cの極限グラファイト化プロセスで焼成された人工合成グラファイトです。半導体や真空装置向けに特別設計されており、極めて高い純度、優れた熱伝導性、化学腐食耐性を備え、精密工業プロセスにおける重要なコア材料です。
高純度仕様
Purity 99.9%
最高加工温度
3,000°C Graphite
コア機能性
超高い導電性・熱伝導率
精密材料の特性と優位性
01 極限環境下での安定性
高温でのコークス・グラファイト化処理により、構造は極めて安定しています。高温真空下でも非常に低いガス放出量を維持できるため、製造環境が炭素不純物によって汚染されることを防ぎます。
02 卓越した熱場制御
優れた熱伝導性能と均熱性を備え、極度の熱衝撃にも耐えてひび割れしません。半導体加熱台や炉管治具に最適な材料ソリューションです。
03 精密加工との適合性
材料は硬度が高いものの、優れた切削加工特性を備えており、顧客の図面仕様に応じて、精密な微小穴加工、薄板加工、複雑な溝加工などの部品開発が可能です。
ハイエンド分野への応用マトリックス
次世代技術に向けた総合的なカーボン材料サポートを提供
半導体プロセス用治具
ウェーハ加熱台（サセプター）、エピタキシャル成長炉部品、真空環境向け高純度キャリア。
真空高温装置
真空炉コンポーネント、高温シールド板、熱場構造部材、高温環境用ガスケットおよびライニング。
電力・エネルギー技術
燃料電池用バイポーラプレート、リチウム電池負極材料の研究開発試作、高効率導電端子コンポーネント。
特殊機械およびシール
高純度精密シールリング、機械回転ジョイントコンポーネント、極限化学腐食環境向け構造部材。